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產品簡介
Sensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應用限制S neox具備優異的環境適應性，可在多種復雜環境下穩定工作。設備采用工程塑料與金屬支撐結構，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動性能優異。
產品分類
Sensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應用限制
S neox具備優異的環境適應性，可在多種復雜環境下穩定工作。設備采用工程塑料與金屬支撐結構，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動性能優異。環境控制艙可調節溫度波動±0.3℃、濕度±1%，適配光學晶體等敏感樣品檢測。在振動幅度超100nm環境下，設備仍能穩定工作，確保檢測精度。軟件支持環境補償功能，可自動校準溫度、濕度對測量結果的影響。設備還配備遠程升級與故障診斷功能，通過VPN連接實現即時技術支持，滿足跨地域使用需求。在生產車間環境中，S neox可適應溫度波動與振動干擾，確保長時間連續工作下的檢測精度與穩定性。
型號與配置
S?neox?3：經濟型，配備 20× 共聚焦物鏡，適用于常規表面粗糙度檢測。
S?neox?5：多功能型，標配 150× 高 NA 物鏡，支持高分辨率微結構分析。
S?neox?Pro：全套配置，含 500?W 高功率 LED、雙通道信號融合模塊，滿足工業 4.0 生產線集成。
典型應用場景
半導體晶圓：薄膜厚度、刻蝕坑形貌、光刻對準誤差檢測。
光學元件：透鏡表面粗糙度、鍍膜均勻性、AR 薄膜厚度。
MEMS 器件：微：微齒輪、懸臂梁的三維形貌與尺寸公差。
生物醫學材料：植入物表面紋理、組織支架孔徑分布。
汽車零部件：發動機缸蓋、氣門座的表面質量評估。
Sensofar三維光學輪廓儀突破實驗室應用限制