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當前位置:首頁技術文章Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀S neox 從入門到批量檢測

Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學輪廓儀S neox 從入門到批量檢測

更新時間:2025-10-11點擊次數:64
Sensofar S neox 通過軟硬件協同設計,降低了精密測量的操作門檻,同時滿足專業用戶的深度需求。其操作體系以 SensoSCAN 軟件為核心,搭配便捷的硬件控制邏輯。
軟件界面采用模塊化布局,左側功能欄劃分測量模式選擇、參數設置等模塊,右側實時顯示樣品成像,底部狀態欄更新掃描進度與存儲路徑。導航預覽功能可自動生成低倍全景圖,用戶框選目標區域后,系統會自動調整鏡頭位置,更換 2.5x 至 100x 物鏡時,預覽圖同步顯示視場范圍,避免測量點丟失。
測量模式切換靈活,共聚焦、白光干涉、相位移干涉及多焦面疊加四種模式各有適配場景:共聚焦模式橫向分辨率 0.10μm,適合微小結構識別;相位移干涉縱向分辨率達亞納米級,適配超光滑表面;多焦面疊加技術支持 8mm 掃描深度與 86° 斜率測量。新手可直接使用默認參數,專業用戶則能手動調整掃描范圍、光源波長等參數,調整效果實時預覽。
硬件操作同樣便捷,電動樣品臺通過軟件操縱桿實現 XYZ 軸移動,承重達 20kg,兩側可調節夾具穩固固定工件。鏡頭采用卡扣式設計,旋轉即可裝卸,軟件會自動識別鏡頭型號并匹配參數。批量檢測時增配 SensoPRO LT 軟件,預設程序后可實現全自動測量,支持行業專用模塊擴展。
操作流程關鍵步驟表
操作階段
關鍵動作
注意事項
準備階段
清潔樣品臺,固定樣品
樣品表面無雜質
定位階段
啟動預覽功能,框選區域
確認物鏡倍率匹配
測量階段
選擇模式,設置參數
新手建議用默認參數
批量檢測
預設程序,啟動自動測量
確保樣品裝載到位
該操作設計適配科研實驗室與生產線場景,特斯拉超級工廠便利用其實現每分鐘 30 個電池極片的涂層檢測。


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