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PRODUCTS CNTERZygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量?Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。
Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量 Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于微米至納米級表面形貌分析,滿足半導體、光學元件、精密制造等領域的高精度檢測需求。Zygo白光干涉光學輪廓儀:微納表面精密測量 Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量
•測量范圍:垂直分辨率0.1nm,橫向分辨率1μm
•多模式測量:支持白光干涉、相移干涉等多種測量模式
•快速掃描:高速數據采集,提高檢測效率
•大視場兼容:適配2.5X-100X物鏡,支持不同尺寸樣品測量
•光學系統:高穩定性干涉光路設計
•精密載物臺:電動控制,定位精度高
•分析軟件:提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模塊
型號 | NewView 9000 | NewView 7000 |
---|---|---|
垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
橫向分辨率 | 1μm | 2μm |
最大視場 | 10×10mm | 5×5mm |
掃描速度 | 可選高速模式 | 標準模式 |
•半導體晶圓表面缺陷檢測
•光學鏡片面形測量
•MEMS器件三維形貌分析
•材料表面粗糙度表征
1.樣品準備:確保表面清潔,避免強反射干擾
2.模式選擇:根據樣品特性選擇合適測量模式
3.參數設置:調整掃描范圍和分辨率
4.數據分析:通過軟件進行3D重建和參數計算
Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量