在材料微觀特性探究、元件質(zhì)量把控的科研及工業(yè)場景里,表面輪廓測量的精度與效率,直接影響著研究進(jìn)展與產(chǎn)品品質(zhì)。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀,以其精巧設(shè)計(jì)與實(shí)用功能,成為眾多專業(yè)人士信賴的得力工具。下面為你介紹兩款該系列的產(chǎn)品。布魯克白光干涉儀:輪廓測量新選擇
一、ContourX - 500:桌面旗艦,高效精準(zhǔn)
產(chǎn)品細(xì)節(jié):緊湊設(shè)計(jì),操作便捷
ContourX - 500 作為桌面旗艦型號,外觀設(shè)計(jì)緊湊,占用空間小,非常適合實(shí)驗(yàn)室空間有限的環(huán)境。其操作界面簡潔直觀,各類控制按鈕布局合理,新手也能快速上手。樣品臺設(shè)計(jì),帶編碼器的樣品臺可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位,頭部傾斜設(shè)計(jì)方便從不同角度測量表面特征,減少跟蹤誤差,確保測量的準(zhǔn)確性與可重復(fù)性。設(shè)備還配備一只 5MP 攝像頭,并采用 1200x1000 測量陣列,有效降低噪聲、擴(kuò)大視場并提高橫向分辨率 ,讓微小細(xì)節(jié)無所遁形。
產(chǎn)品性能:技術(shù)融合,穩(wěn)定可靠
這款輪廓儀融合了優(yōu)良的白光干涉技術(shù)與精密光學(xué)系統(tǒng)。白光干涉技術(shù)通過分析不同波長光干涉產(chǎn)生的條紋,精準(zhǔn)識別樣品表面微觀起伏。在測量過程中,設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定,受外界環(huán)境干擾影響小,保障測量結(jié)果的穩(wěn)定性與一致性。它具備出色的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度,擁有布魯克落地式白光干涉(WLI)儀器廣受認(rèn)可的優(yōu)勢,可在多種復(fù)雜表面上獲取高質(zhì)量測量數(shù)據(jù)。測量范圍靈活,能根據(jù)樣品需求調(diào)整參數(shù),無論是對大面積區(qū)域進(jìn)行快速掃描,還是針對微小局部進(jìn)行精細(xì)測量,都能輕松勝任。
用材講究:品質(zhì)選材,經(jīng)久耐用
布魯克在 ContourX - 500 的選材上十分用心。核心光學(xué)部件采用高品質(zhì)光學(xué)玻璃,具備良好的透光性和低色散特性,減少光線傳播中的能量損失與圖像畸變,保證測量成像清晰準(zhǔn)確。內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu)選用高強(qiáng)度、耐磨的金屬材料,如傳動部件采用優(yōu)質(zhì)合金鋼,確保長期高頻使用下,依然維持精確的運(yùn)動精度和良好的機(jī)械性能,延長設(shè)備使用壽命,降低維護(hù)成本。設(shè)備外殼堅(jiān)固且抗腐蝕,有效保護(hù)內(nèi)部精密部件,適應(yīng)多樣的使用環(huán)境。
參數(shù)詳情
廣泛用途
在半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證與質(zhì)量控制(QA/QC)計(jì)量中,ContourX - 500 可精確測量晶圓表面的平整度、刻蝕圖案的深度與寬度等參數(shù),助力提升芯片制造質(zhì)量。在眼科領(lǐng)域,能對隱形眼鏡等光學(xué)器件的表面形貌進(jìn)行檢測,確保產(chǎn)品符合光學(xué)性能標(biāo)準(zhǔn)。對于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的研發(fā)表征,該輪廓儀可清晰呈現(xiàn)微小結(jié)構(gòu)的表面特征,為器件性能優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
使用說明
初次使用前,仔細(xì)檢查設(shè)備外觀有無損壞,各部件連接是否牢固。將設(shè)備放置在平穩(wěn)、無振動的工作臺上,確保工作環(huán)境溫度、濕度適宜,避免環(huán)境因素影響測量精度。連接電源及相關(guān)配件后,按照說明書進(jìn)行設(shè)備初始化設(shè)置。安裝樣品時(shí),根據(jù)樣品特性選擇合適的固定方式,確保樣品穩(wěn)固且處于正確測量位置。設(shè)置測量參數(shù)時(shí),依據(jù)樣品類型、測量目的謹(jǐn)慎選擇測量范圍、分辨率、掃描模式等。測量過程中,密切關(guān)注設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),若發(fā)現(xiàn)圖像異常、測量數(shù)據(jù)波動過大等情況,立即停止測量,排查故障原因,如檢查光路是否有遮擋、樣品是否發(fā)生位移等。測量完成后,及時(shí)關(guān)閉設(shè)備電源,清理樣品臺,定期對設(shè)備進(jìn)行全面清潔與維護(hù),包括清潔光學(xué)部件、潤滑機(jī)械傳動部件等,確保設(shè)備始終處于良好工作狀態(tài)。布魯克白光干涉儀:輪廓測量新選擇