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PRODUCTS CNTERZygo光學輪廓儀:微納表面測量方案Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。
Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案 Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。
多模式測量:支持白光干涉和相移干涉模式
寬范圍測量:垂直測量范圍可達10mm
快速掃描:單次測量時間可控制在秒級
高重復性:測量結果穩定可靠
光學系統:高精度干涉物鏡組
機械平臺:花崗巖基座配合空氣隔振
探測系統:高分辨率CCD傳感器
控制系統:模塊化電子系統
型號 | NewView 9000 | NewView 7000 |
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垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
水平視場 | 0.1-10mm | 0.2-8mm |
測量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
最大樣品高度 | 150mm | 100mm |
物鏡選項 | 2.5X-100X | 5X-50X |
晶圓表面缺陷檢測
光學鏡面面形測量
MEMS器件三維形貌分析
材料表面粗糙度評估
樣品準備:確保待測表面清潔無污染
參數設置:選擇合適的光學模式和放大倍率
自動對焦:使用軟件輔助對焦功能
開始測量:啟動自動掃描程序
數據分析:通過配套軟件處理測量結果
定期清潔光學元件
保持實驗室環境穩定
避免設備受到振動影響
定期進行設備校準
結語:
Zygo光學輪廓儀以可靠的測量性能,為工業檢測和科研工作提供支持。如需了解更多信息,歡迎咨詢專業技術團隊。Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案