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技術文章
TECHNICAL ARTICLES一、EUV掩模：芯片制造的“光學模板”與傳統透射式光掩模不同，EUV掩模采用反射式設計（因EUV光易被材料吸收）。其表面吸收層的高度變化需精確控制，才能實現13.5nm極紫外光的精準反射與衍射。關鍵挑戰：?吸收層臺階高度誤差需?多層膜表面粗糙度要求二、Sneox測量系統：亞納米精度的三大突破1.白光干涉技術通過分析反射光干涉條紋的相位變化，實現三維形貌納米級重建，可精準捕捉吸收層微結構：2.0.01nm縱向分辨率相當于1個硅原子直徑的1/20，能檢測到肉眼不可見的膜層凸起或凹...
一、CMP：芯片制造的“精密地基”化學機械平面化（CMP）通過化學腐蝕與機械研磨的協同作用，選擇性去除材料表面凸起，使晶圓達到納米級平整度。這種工藝是集成電路（IC）和微機電系統（MEMS）量產的核心環節，確保多層芯片結構的精確堆疊。若表面存在微小不規則，芯片性能將大幅下降。CMP如同一位“微觀泥瓦匠”，為每一層電路鋪設的基礎平面。二、拋光墊：CMP的“隱形功臣”CMP的關鍵消耗材料是拋光墊，其凹槽設計直接影響拋光效果。長期使用會導致凹槽堵塞或表面釉化（拋光殘留物堆積），降低...
在航空航天、汽車制造、半導體等高級工業領域，材料的微觀組織結構直接決定其力學性能、耐蝕性及使用壽命。從金屬合金的晶粒度到復合材料的界面結合，從涂層材料的孔隙率到焊接接頭的相組成，這些“隱形特征”需通過金相分析才能被精準捕捉。徠卡金相顯微鏡憑借高分辨率光學系統、多模態成像技術及智能化分析軟件，成為材料科學家與工業質檢工程師的“微觀手術刀”，在0.1微米的尺度上雕刻出材料性能的“基因圖譜”。一、超高清成像：從“模糊晶界”到“原子級襯度”的光學突破傳統金相顯微鏡在觀察高碳鋼、鈦合金...
非接觸式粗糙度測量儀憑借激光、光學干涉等無損檢測技術，已成為精密制造領域表面質量評估的核心工具。然而，其測量結果易受環境干擾、設備老化及操作誤差影響，因此嚴格遵循校準規范是確保數據可靠性的關鍵。本文從校準環境、標準器具、操作流程及記錄追溯四方面，解析非接觸式粗糙度測量儀校準的核心要求。一、校準環境：控制干擾因子，奠定精度基礎校準環境需滿足溫度、濕度、振動及潔凈度的嚴格條件。通常要求溫度穩定在（20±2）℃，濕度控制在40%-65%RH，以減少熱脹冷縮和靜電對光學...
在納米材料、地質礦物、高分子復合材料等前沿領域，物質的微觀結構往往決定其宏觀性能。然而，傳統光學顯微鏡在面對各向異性材料（如晶體、纖維、液晶）時，常因光線折射率差異導致圖像模糊，難以揭示其內部有序排列的“隱形骨架”。徠卡偏光顯微鏡憑借偏振光干涉技術與高精度光學設計，成為探索微觀晶格世界的“極光之窗”，為材料科學、地質學、生物醫學等領域提供了一把破解物質結構密碼的“金鑰匙”。一、偏振光技術：讓“隱形晶格”顯形的光學魔法普通顯微鏡的光線為非偏振光，在通過各向異性材料時會發生雙折射...
一、鄰近效應：微納加工的“隱形殺手當電子束穿透光刻膠時，會與材料發生復雜相互作用：一部分電子前向散射，另一部分被襯底反彈形成背散射電子。這些“不聽話”的電子會擴散到預設圖形區域之外，就像墨水在宣紙上暈染開一般，造成中心區域欠曝、邊緣過曝的現象。從澤攸科技的實驗數據可見（圖2）未校正時，同一芯片上不同區域的線寬差異可達30%以上。二、劑量校正技術：給電子束裝上“導航系統”傳統解決方式如同“盲人摸象”，而澤攸科技采用的智能劑量校正方案實現了三大創新：1.雙高斯建模：通過α（前散射...
在材料科學、生物醫學及半導體制造等領域，對樣品內部結構的精準觀測是推動技術突破的核心環節。然而，傳統切片機常因振動干擾、厚度偏差等問題，導致樣品邊緣碎裂、層間剝離或成像模糊，嚴重制約研究效率。RMC半薄切片機憑借其亞微米級精度控制與智能化操作體系，成為制備高質量薄片樣品的革命性工具，為透射電鏡（TEM）、原子力顯微鏡（AFM）等高級分析技術提供了可靠保障。1.動態振動補償技術：突破厚度極限的“穩定器”傳統切片機在高速切削時，刀片與樣品間的微小振動會引發“厚度波動效應”，導致薄...
一、ZYGO共聚焦干涉儀技術突破：從實驗室精度到工業環境適應性抗振與動態測量能力傳統干涉儀對環境振動極為敏感，需在恒溫、隔振實驗室中運行。ZYGO通過QPSI™(快速相位偏移干涉)技術，結合波長調制采樣方式，使共聚焦干涉儀在振動環境下仍能保持高精度測量。例如，其300mm立式球面干涉儀(VWS)在生產環境中實現RMS波前重復性優于1納米，曲率半徑測試不確定度達百納米級，突破了實驗室級儀器對環境的嚴苛依賴。大口徑與復雜曲面測量針對工業大尺寸元件(如光刻物鏡透鏡)，Z...