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如何操作Sensofar光學輪廓儀

產品簡介

如何操作Sensofar光學輪廓儀
操作Sensofar系列光學輪廓儀是一個系統性的流程,遵循正確的步驟可以獲得更可靠的測量數據。

產品型號:
更新時間:2025-10-22
廠商性質:代理商
訪問量:134
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如何操作Sensofar光學輪廓儀

操作Sensofar系列光學輪廓儀是一個系統性的流程,遵循正確的步驟可以獲得更可靠的測量數據。

1. 樣品準備與放置:
首先,確保樣品表面清潔,無油污、灰塵等污染物。根據樣品的大小和形狀,選擇合適的夾具或載物臺將其穩固放置,防止測量過程中移動。對于微小樣品,需小心操作,避免觸碰物鏡。

2. 選擇測量模式與物鏡:
根據樣品表面特性選擇模式:

  • 粗糙、高斜率、不透明樣品: 優先選擇共聚焦模式。

  • 光滑、平坦、需測納米級臺階的樣品: 優先選擇白光干涉(VSI)模式。
    根據待測區域大小和所需分辨率選擇物鏡倍數:低倍物鏡(如5X,10X)用于定位和大視場測量;高倍物鏡(如50X,100X)用于觀察細節。

3. 對焦與參數設置:
通過軟件控制載物臺Z軸移動,使樣品表面大致處于焦點位置。軟件通常具備自動對焦或輔助對焦功能。隨后,設置掃描的Z軸范圍、步長和掃描速度。對于不熟悉的樣品,可先進行快速預覽掃描以確定合適的參數。

4. 執行掃描與數據采集:
參數設置完畢后,啟動自動掃描。儀器會按照設定的程序逐層采集數據。掃描過程中應避免振動或觸碰儀器。

5. 數據處理與分析:
掃描結束后,軟件會自動重建三維形貌圖。首先進行必要的調平處理,移除樣品傾斜帶來的誤差。然后,使用軟件提供的豐富工具進行分析:

  • 形貌觀察: 從不同角度觀察3D視圖。

  • 截面分析: 繪制任意位置的截面曲線,測量高度、角度、寬度等。

  • 粗糙度分析: 計算Sa, Sq, Sz等符合國際標準的粗糙度參數。

  • 體積/面積分析: 計算凹坑或凸起的體積、表面積。

  • 數據導出: 將測量數據和分析結果導出為報告或圖片。

遵循上述流程,并經過適當的培訓,用戶可以熟練操作儀器,完成從樣品準備到結果分析的全過程,充分發揮光學輪廓儀的性能。

如何操作Sensofar光學輪廓儀


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