光源與探測(cè)器： ZeGage Pro使用LED作為照明光源。LED光源具有壽命長(zhǎng)、發(fā)熱量低、穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，有助于保證長(zhǎng)期測(cè)量的重復(fù)性。探測(cè)器則是一臺(tái)高分辨率的CMOS相機(jī)，負(fù)責(zé)捕捉干涉條紋圖像。相機(jī)的像素?cái)?shù)量決定了單次測(cè)量視野內(nèi)的橫向數(shù)據(jù)點(diǎn)密度，影響著測(cè)量的橫向分辨能力。

物鏡與轉(zhuǎn)盤： 儀器配備了一個(gè)可自動(dòng)切換的物鏡轉(zhuǎn)盤。用戶可以根據(jù)測(cè)量需求選擇不同放大倍率的物鏡，例如2.5x、5x、10x、20x等。低倍物鏡提供較大的視野，用于觀測(cè)整體形貌；高倍物鏡則提供較小的視野和更高的橫向分辨率，用于觀察表面細(xì)節(jié)。物鏡的接口為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，具有良好的通用性。

樣品臺(tái)與機(jī)械結(jié)構(gòu)： 樣品臺(tái)用于承載和定位樣品。ZeGage Pro可配置不同尺寸和承載能力的樣品臺(tái)。樣品臺(tái)在X、Y方向的移動(dòng)通常由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位和多點(diǎn)測(cè)量。導(dǎo)軌和絲杠等機(jī)械部件采用了一定的工藝標(biāo)準(zhǔn)，以確保運(yùn)動(dòng)的平直度和定位的重復(fù)性。

集成式計(jì)算單元： 儀器內(nèi)部集成了一臺(tái)工業(yè)計(jì)算機(jī)，負(fù)責(zé)控制硬件運(yùn)行和進(jìn)行初步的數(shù)據(jù)處理。這種一體化的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化了外部連接，用戶只需通過(guò)一根網(wǎng)線將儀器與辦公電腦連接，即可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和數(shù)據(jù)傳輸，減少了外部電腦性能波動(dòng)對(duì)測(cè)量系統(tǒng)可能產(chǎn)生的影響。