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產品簡介
布魯克非接觸式三維測量多場景解決方案ContourX-500作為布魯克推出的臺式三維光學輪廓儀，以非接觸式白光干涉技術為核心，為工業檢測與實驗室研究提供了靈活的三維形貌測量方案。
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布魯克非接觸式三維測量多場景解決方案
ContourX-500作為布魯克推出的臺式三維光學輪廓儀，以非接觸式白光干涉技術為核心，為工業檢測與實驗室研究提供了靈活的三維形貌測量方案。其核心優勢在于將落地式白光干涉儀的功能集成于緊湊機身，占地面積減少40%，同時保持垂直分辨率0.1nm、橫向分辨率0.35μm的性能指標，可覆蓋從納米級薄膜到毫米級臺階的測量需求。
技術架構與核心性能
設備采用模塊化設計，光源模塊搭載雙色LED照明系統，波長范圍覆蓋可見光至近紅外，通過多波段濾波器適配不同反射率樣品。干涉鏡頭組支持5種物鏡切換（2.5X-50X），工作距離10-45mm，結合自動測頭傾斜功能（±6°），可實現復雜曲面（如渦輪葉片、微透鏡陣列）的無損檢測。樣品臺采用氣動減震設計，承重達8kg，XY軸移動范圍100mm×100mm，配合編碼器反饋系統，定位重復性優于0.1μm。
材料與工藝的可靠性保障
光學部件選用高純度熔融石英玻璃，透光率超91%，熱膨脹系數低至5.6×10??/℃，確保溫度波動下光學路徑穩定。鏡頭組表面鍍氧化硅與氟化鎂復合增透膜，反射率≤0.6%，提升干涉條紋對比度。機械結構方面，底座采用高強度鑄鐵，有效吸收振動；臺面為304不銹鋼精密研磨，平整度誤差≤1.5μm，長期使用不形變。
典型應用場景
在半導體制造中，設備可檢測晶圓表面顆粒污染（0.1μm級）與TSV通孔側壁粗糙度；在汽車行業，用于分析發動機氣門密封面磨損（深度≥9μm區域自動標記）；在生物醫學領域，可表征組織工程支架的孔隙率與拓撲結構。某光學鏡片廠商通過設備測量曲面誤差PV值，將加工良率從82%提升至94%。
參數速覽
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 型號 | ContourX-500 |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| 橫向分辨率 | 0.35μm-5μm（依物鏡而定） |
| 最大掃描范圍 | 5mm×5mm×5mm |
| 樣品臺尺寸 | 200mm×200mm |
| 重量 | 35kg |
| 電源要求 | 100-240V AC, 50/60Hz |