ZYGO光學輪廓儀操作:輕松上手的測量工具
ZYGO Nexview™ NX2 光學輪廓儀在操作設計上,充分考慮不同用戶的使用習慣,讓新手也能快速熟悉測量流程。其核心操作軟件采用直觀的分區布局,主界面上方為功能菜單欄,包含 “樣品管理"“測量設置"“數據處理" 等選項,每個選項下的子功能都配有清晰的文字說明;中間是實時成像窗口,可同步顯示樣品的二維圖像與三維輪廓預覽;下方為操作進度條與參數提示欄,方便用戶實時掌握測量狀態。
樣品定位環節十分便捷,軟件自帶 “智能尋焦" 功能,點擊后設備會自動掃描樣品表面,快速找到清晰成像的焦距位置,無需手動反復調節。若需精準定位測量區域,用戶可在成像窗口中用鼠標拖拽框選,系統會自動記錄該區域坐標,后續再次測量時直接調用坐標即可,避免重復定位。測量模式選擇上,設備提供白光干涉、共聚焦、動態模式等多種選項,每種模式都預設了適配常見樣品的參數,如測量光學鏡片時,調用 “光學元件" 預設模式,即可自動匹配合適的掃描速度與分辨率;專業用戶也可在 “參數自定義" 界面調整橫向采樣間隔、縱向掃描范圍等參數,調整過程中軟件會實時顯示參數對應的測量效果預覽,便于及時調整。
硬件操作同樣簡單,電動樣品臺通過軟件中的虛擬手柄控制,可實現 X、Y、Z 軸的平穩移動,移動速度可根據需求調節,最慢速度適合精細定位,最快速度方便快速切換樣品。樣品固定采用可調節卡扣式夾具,只需轉動旋鈕即可夾緊樣品,適配從 5mm×5mm 的微型芯片到 150mm×150mm 的電路板等不同尺寸樣品,最大承重達 20kg,滿足多樣測量需求。批量測量時,軟件支持導入樣品坐標列表,設備會按照列表順序自動完成每個樣品的測量,測量完成后數據可自動導出為 CSV、TIF 等格式,還能生成包含測量參數、結果分析的報告,減少人工整理數據的工作量。
ZYGO光學輪廓儀操作:輕松上手的測量工具