在精密測量設備領域，參數配置與實際應用適配度是用戶關注的核心。ZYGO 3D 光學輪廓儀 ZeGage Pro 憑借精心設計的參數體系、優(yōu)質用材及廣泛的場景適配能力，為不同行業(yè)用戶提供可靠測量支持。
詳細參數配置
ZeGage Pro 擁有豐富且實用的參數配置，滿足多樣測量需求。在測量范圍方面，垂直測量范圍覆蓋從 0.1μm 到 10mm，可應對從微觀結構到較大尺寸工件的表面測量；水平視場根據搭配的物鏡不同有所差異，搭配 5 倍物鏡時水平視場約為 2.6mm×2.0mm，搭配 10 倍物鏡時約為 1.3mm×1.0mm，用戶可根據測量對象大小靈活選擇。
分辨率上，垂直分辨率可達 0.1nm，能捕捉到工件表面細微的高度變化；水平分辨率與物鏡倍率相關，10 倍物鏡下水平分辨率約為 0.65μm，可清晰呈現表面微觀紋理。測量速度方面，單次全范圍掃描時間最短可至 1 秒，在保證測量精度的同時，有效提升測量效率，減少等待時間。
數據處理能力也不容小覷，設備搭載的專用處理器可快速處理海量測量數據，生成三維形貌圖、輪廓曲線、粗糙度參數等多種分析結果，且支持多種數據格式導出，方便與其他分析軟件協同使用。
優(yōu)質用材選擇
ZeGage Pro 在關鍵部件用材上嚴格把控，確保設備性能穩(wěn)定與耐用性。儀器主體框架采用高強度鑄鋁材料，鑄鋁材料具有良好的剛性與輕量化特性，既能為內部精密部件提供穩(wěn)固支撐，減少外界振動對測量的影響，又便于設備搬運與安裝。
光學系統中的核心鏡片選用高透過率光學玻璃，這種玻璃經過特殊工藝處理，透光率可達 99% 以上，能大程度減少光線損耗，保證干涉信號的清晰穩(wěn)定，為精準測量提供基礎。同時，鏡片表面鍍有多層增透膜，有效降低反射光干擾，進一步提升光學系統性能。
運動部件如壓電掃描器的核心組件采用壓電陶瓷材料，壓電陶瓷具有優(yōu)異的壓電效應與響應速度，在電壓控制下可實現納米級的精準位移，且長期使用穩(wěn)定性好，不易出現性能衰減。設備臺面則采用耐磨不銹鋼材質，不銹鋼臺面表面經過精密研磨處理，平整度高，同時具備良好的抗腐蝕與耐磨性，可長期保持臺面精度，延長設備使用壽命。
多行業(yè)應用場景
在電子行業(yè)，ZeGage Pro 可用于芯片封裝檢測。芯片封裝過程中，焊點高度、焊盤平整度直接影響芯片性能與可靠性，借助設備的高分辨率測量能力，可精準測量焊點高度偏差與焊盤平面度，及時發(fā)現封裝缺陷，保障芯片質量。此外，還能對顯示屏面板表面的觸控層厚度、表面粗糙度進行測量，確保顯示屏觸控靈敏度與顯示效果。
在光學元件制造領域，適用于透鏡、棱鏡等元件的表面測量。透鏡表面的曲率半徑、面型誤差會影響光學成像質量，通過 ZeGage Pro 可快速獲取透鏡表面三維形貌數據，計算出面型誤差參數，為透鏡加工精度控制提供依據。對于棱鏡的棱角角度、表面平整度測量，設備也能精準完成，助力光學元件制造企業(yè)提升產品品質。
在醫(yī)療器械行業(yè)，可用于人工關節(jié)表面粗糙度測量。人工關節(jié)表面粗糙度直接關系到患者使用舒適度與關節(jié)使用壽命，ZeGage Pro 能精準測量關節(jié)表面粗糙度參數，幫助制造商優(yōu)化加工工藝，生產出更符合醫(yī)療標準的產品。同時，還可對醫(yī)療器械中的微通道結構尺寸、表面平整度進行檢測，保障醫(yī)療器械的使用性能與安全性。
無論是參數配置、用材選擇還是應用場景適配，ZeGage Pro 都展現出強勁實力，為各行業(yè)精密測量需求提供有力保障，助力企業(yè)提升產品質量與生產效率。
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