布魯克?ContourX-500：高效三維光學輪廓儀

產品簡介

布魯克?ContourX-500：高效三維光學輪廓儀
在當今科技飛速發展的時代，對于高精度表面測量的需求愈發迫切。無論是精密制造、半導體加工，還是科研領域的微觀研究，準確獲取表面的三維信息至關重要。而 ContourX-500 三維光學輪廓儀，正以其出色的性能，成為眾多行業的得力助手。

產品型號：

更新時間：2025-10-22

廠商性質：代理商

訪問量：111

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

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布魯克ContourX-500：高效三維光學輪廓儀

在當今科技飛速發展的時代，對于高精度表面測量的需求愈發迫切。無論是精密制造、半導體加工，還是科研領域的微觀研究，準確獲取表面的三維信息至關重要。而 ContourX-500 三維光學輪廓儀，正以其出色的性能，成為眾多行業的得力助手。

產品細節與用材

ContourX-500 整體采用了堅固耐用的材質打造，確保在不同環境下都能穩定運行。其光學部件經過精心挑選與組裝，搭載了雙色 LED 照明系統，能夠提供穩定且均勻的光源，為高質量的測量成像奠定基礎。儀器配備了 500 萬像素的攝像頭，可選用單色（標準配置）或彩色（可選配置），搭配 1200x1000 數據陣列，有效降低噪聲、擴大視場并提高橫向分辨率，讓您清晰捕捉表面的每一處細節。

產品性能

高分辨率測量

ContourX-500 具備與放大倍率無關的優秀 Z 軸分辨率，垂直分辨率小于 0.01nm ，能夠精準分辨表面極微小的高度差異，即使是納米級別的起伏也能清晰呈現。水平分辨率可達 0.38μm min（Sparrow 準則），若搭配 AcuityXR® ，更是能低至 0.13μm ，為您提供超高清晰度的表面圖像。

優良的自動化功能

該儀器擁有高級自動化功能，包含帶編碼器的 XY 軸樣品臺，可精確控制樣品位置，實現自動化掃描。自動測頭傾斜功能更是一大亮點，布魯克專有的自動傾斜光學測頭，能在一定角度范圍內自動測試表面特征，減少跟蹤誤差。同時，自動亮度調整功能確保在不同樣品反射率條件下，都能獲取清晰的圖像。

穩定的測量環境保障

儀器采用了緊湊的氣動減震臺設計，集成式氣浮隔震能夠有效隔絕外界震動干擾，為測量提供穩定的環境，保障了測量結果的準確性與可重復性。即使在較為復雜的工業環境中，也能穩定發揮出色性能。

參數表

參數	詳情
最大掃描量程	≤10 mm
垂直分辨率 1	＜0.01 nm
水平分辨率	0.38 μm min（Sparrow 準則）；0.13 μm（with AcuityXR®）
臺階高度準確性 2	＜0.75%
臺階高度重復性	＜0.1% 1 sigma repeatability
最大掃描速度	37 μm/sec（with standard camera）
樣品反射率范圍	0.05% 到 100%
最大樣品傾角	≤40°（shiny surfaces）；≤87°（rough surfaces）
樣品高度	≤100 mm（4 in.）
XY 樣品臺	150 mm（6 in.）encoded automation stage
Z 軸聚焦	Automated
傾斜功能	±5° automated in head
光學計量模塊	Patented dual-color LED illumination；Single-objective adapter；Optional automated or manual turret；Optional motorized or manual discrete modules
物鏡	Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X；LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X；TTM: 2X, 5X, 10X, 20X；Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X
放大器	0.55, 0.75X, 1X 1.5X, 2X
攝像頭	Monochrome（standard）or color（optional）；5 MP with 1200x1000 data array
軟件系統	Vision64 and VisionXpress Analysis Software on Windows 10 OS；64-bit
自動測量功能	Advanced automated stitching, scatter, and grid automation standard with encoded motorized XY stage；auto focus；auto intensity；auto saving；on-fly analysis；and recording into database
校準	Via NIST/PTB traceable step height and lateral ruler standards
設備尺寸	480 mm（W）x 604 mm（D）x 700 mm（H）)
重量	70 kg
保修期	12 months