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臺式電鏡&臺階儀&原位分析
澤攸臺式掃描電鏡
樣品處理與制備:ZEM系列臺式電鏡
樣品處理與制備:ZEM系列臺式電鏡澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術相結合,可提供多維度的樣品信息。
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澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術相結合,可提供多維度的樣品信息。樣品處理與制備:ZEM系列臺式電鏡
產品細節與性能:
JS系列采用壓電陶瓷驅動和柔性鉸鏈結構,實現了探針的平穩掃描。測量力可調,以適應不同硬度樣品的測量需求,避免對樣品造成損傷。
核心參數(JS 400例):
掃描范圍:100μm × 100μm × 25μm (XYZ)
垂直分辨率:0.1nm
掃描速度:0.01 - 1mm/s
樣品尺寸:直徑≤ 6英寸
用途:
主要用于半導體制造中的膜厚測量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。
澤攸電鏡提供多種可與掃描電鏡集成的原位樣品臺,使研究人員能夠在微觀尺度觀察樣品在熱、力、電等外界條件下的動態變化過程。
獲得清晰電鏡圖像的前提是良好的樣品制備。澤攸電鏡提供多種樣品制備設備,如離子濺射儀和臨界點干燥儀,覆蓋常見的制樣需求。
產品細節與用材:
離子濺射儀采用高純度金屬靶材(如金、鉑、碳),真空室由不銹鋼制成,配備數字式真空計和電流穩定裝置,以控制鍍膜厚度。
核心參數(濺射儀Sputter 10例):
真空度:≤ 8 Pa
濺射電流:0 - 50 mA
靶材選擇:多種可選
定時范圍:0 - 999秒
用途:
為不導電的樣品(如生物組織、高分子材料)鍍上一層導電膜,防止電荷積累,改善圖像質量。
使用簡述:
將清潔干燥的樣品放入濺射儀樣品臺,抽真空至設定值。設置濺射電流和時間,啟動程序。完成后取出樣品即可上機觀察。樣品處理與制備:ZEM系列臺式電鏡