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ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量

產品簡介

ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量
ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質量控制效率。

產品型號:Verifire HDX
更新時間:2025-08-20
廠商性質:代理商
訪問量:18
詳細介紹在線留言

ZYGO白光干涉光學輪廓儀 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用閉環反饋壓電陶瓷和高線性電容傳感器,確保測量的穩定性和重復性。設備支持多種物鏡選擇,適用于不同放大倍率和工作距離的需求。設備操作簡便,支持多種軟件分析工具,便于用戶快速完成測量和分析 ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量

產品性能

  • 測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)

  • 橫向分辨率:最高可達0.5μm

  • 重復性:優于0.1%

  • 支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結構

儀器主體采用高穩定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數玻璃,確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計,減少環境振動干擾。

參數表

型號

垂直分辨率

最大掃描范圍

適用樣品

ZYGO-200

0.1nm

1mm

光滑表面、薄膜

ZYGO-500

0.2nm

10mm

粗糙表面、微結構

用途

  • 半導體晶圓檢測

  • 光學鏡面質量分析

    MEMS器件形貌測量

  • 精密機械加工表面評估

ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量  ZYGO白光干涉光學輪廓儀





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