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PRODUCTS CNTERZYGO白光干涉儀:高精度光學測量ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業提供可靠的表面測量方案,支持快速、非接觸式檢測,提升質量控制效率。
ZYGO白光干涉光學輪廓儀 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用閉環反饋壓電陶瓷和高線性電容傳感器,確保測量的穩定性和重復性。設備支持多種物鏡選擇,適用于不同放大倍率和工作距離的需求。設備操作簡便,支持多種軟件分析工具,便于用戶快速完成測量和分析 ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量
產品性能
•測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)
•橫向分辨率:最高可達0.5μm
•重復性:優于0.1%
•支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結構
儀器主體采用高穩定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數玻璃,確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計,減少環境振動干擾。
參數表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結構 |
用途
•半導體晶圓檢測
•光學鏡面質量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估
ZYGO白光干涉儀:高精度光學測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀