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BEUKER白光干涉儀:表面測量的可靠工具?

產品簡介

BEUKER白光干涉儀:表面測量的可靠工具?
BEUKER白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于微納米級表面形貌分析。其光學系統基于白光干涉原理,可清晰呈現樣品表面的三維形貌,適用于半導體、光學元件、精密加工等領域。

產品型號:
更新時間:2025-08-19
廠商性質:代理商
訪問量:21
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BEUKER白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于微納米級表面形貌分析。其光學系統基于白光干涉原理,可清晰呈現樣品表面的三維形貌,適用于半導體、光學元件、精密加工等領域。BEUKER白光干涉儀:表面測量的可靠工具

產品性能

  • 測量范圍:0.1nm至10mm(垂直方向)


  • 橫向分辨率:最高可達0.5μm


  • 重復性:優于0.1%


  • 支持多種測量模式:臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結構

儀器主體采用高穩定性鋁合金框架,光學部件選用低熱膨脹系數玻璃,確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計,減少環境振動干擾。

參數表

型號

垂直分辨率

最大掃描范圍

適用樣品

BWI-200

0.1nm

1mm

光滑表面、薄膜

BWI-500

0.2nm

10mm

粗糙表面、微結構

用途

  • 半導體晶圓檢測


  • 光學鏡面質量分析


  • MEMS器件形貌測量


  • 精密機械加工表面評估

使用說明

1.開機預熱10分鐘,確保系統穩定。

2.放置樣品于載物臺,調整焦距至干涉條紋清晰。


3.選擇測量模式,設定掃描參數。


4.軟件自動分析數據,生成3D形貌圖及關鍵參數。

BEUKER白光干涉儀:表面測量的可靠工具



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