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三維光學輪廓儀
BEUKER白光干涉光學輪廓儀
BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇
BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇BEUKER白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于微納米級表面形貌分析。其核心部件采用高質量光學鏡頭和穩定光源系統,確保測量數據的可靠性。
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產品細節與性能
光學系統:配置高分辨率CCD和長壽命LED光源,適應不同材質表面的測量需求。
掃描范圍:垂直掃描范圍可達10mm,橫向分辨率優于0.1μm。
軟件支持:配備專業分析軟件,支持3D形貌重建、粗糙度計算等功能。
用材與參數
主體框架采用鋁合金材質,兼顧輕便與穩定性。
光學元件經過防塵防霉處理,適合實驗室和工業環境。
主要型號
BKI-200:基礎型,適用于常規科研與質檢。
BKI-300:高精度型,支持更大范圍測量。
用途
廣泛應用于半導體、光學元件、精密加工等行業,可用于檢測表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等。
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