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Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案
Sensofar白光干涉儀采用優(yōu)良的光學干涉技術,為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案,廣泛應用于半導體、精密制造和材料科學研究領域。

產(chǎn)品型號:S neox
更新時間:2025-08-18
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:43
詳細介紹在線留言

產(chǎn)品概述

Sensofar白光干涉儀采用優(yōu)良的光學干涉技術,為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案,廣泛應用于半導體、精密制造和材料科學研究領域。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案

性能特點

  • 非接觸式測量:避免樣品損傷

  • 多模式檢測:支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式

  • 大范圍測量:Z軸測量范圍可達數(shù)毫米

  • 快速掃描:單次測量時間可控制在秒級

用材與工藝

  • 光學系統(tǒng):高精度物鏡組,可選2.5X-100X多種倍率

  • 機械結構:大理石基座配合精密導軌,確保穩(wěn)定性

  • 探測系統(tǒng):高靈敏度CCD傳感器

參數(shù)表

型號S neoxS mart
垂直分辨率0.1nm0.5nm
水平分辨率0.5μm1μm
測量速度5秒/次10秒/次
最大樣品尺寸200mm150mm
工作距離20-80mm15-50mm

典型用途

  • 半導體晶圓表面缺陷檢測

  • MEMS器件三維形貌分析

  • 光學元件表面質(zhì)量評估

  • 金屬材料粗糙度測量

使用說明

  1. 樣品準備:確保待測表面清潔無污染

  2. 參數(shù)設置:根據(jù)樣品特性選擇合適的光學模式和放大倍率

  3. 自動對焦:使用軟件自動對焦功能獲取清晰圖像

  4. 數(shù)據(jù)分析:通過配套軟件進行三維重建和參數(shù)計算

維護建議

  • 定期清潔光學元件

  • 保持工作環(huán)境溫濕度穩(wěn)定

  • 避免震動和強磁場干擾

結語:
Sensofar白光干涉儀以可靠的測量性能和靈活的應用配置,為工業(yè)檢測和科研工作提供有力支持。如需了解更多技術細節(jié)或測試服務,歡迎聯(lián)系當?shù)丶夹g支持團隊。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案


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