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三維光學(xué)輪廓儀
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Sensofar S Lynx3D表面形貌測(cè)量新選擇
Sensofar S Lynx3D表面形貌測(cè)量新選擇Sensofar S Lynx 是一款高性能光學(xué)3D表面形貌測(cè)量?jī)x,結(jié)合共聚焦和白光干涉技術(shù),適用于微納米級(jí)表面形貌分析。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域,提供高分辨率、高重復(fù)性的測(cè)量數(shù)據(jù)。
Sensofar S Lynx 是一款高性能光學(xué)3D表面形貌測(cè)量?jī)x,結(jié)合共聚焦和白光干涉技術(shù),適用于微納米級(jí)表面形貌分析。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域,提供高分辨率、高重復(fù)性的測(cè)量數(shù)據(jù)。Sensofar S Lynx3D表面形貌測(cè)量新選擇
高精度測(cè)量:采用*光學(xué)技術(shù),Z軸分辨率可達(dá)納米級(jí),橫向分辨率優(yōu)于亞微米級(jí)。
多模式檢測(cè):支持共聚焦、白光干涉和相位干涉模式,適應(yīng)不同表面特性。
快速掃描:高速掃描模式提升檢測(cè)效率,適用于批量樣品分析。
非接觸測(cè)量:避免樣品損傷,適用于軟性、脆性或高反光材料。
光學(xué)系統(tǒng):高精度物鏡與穩(wěn)定光源設(shè)計(jì),確保測(cè)量穩(wěn)定性。
機(jī)械結(jié)構(gòu):航空級(jí)鋁合金框架,抗振動(dòng)、耐磨損,保證長(zhǎng)期使用精度。
軟件界面:用戶友好型分析軟件,支持3D建模、粗糙度分析、臺(tái)階高度測(cè)量等功能。
參數(shù) | 指標(biāo) |
---|---|
測(cè)量技術(shù) | 共聚焦/白光干涉 |
Z軸分辨率 | ≤0.1 nm |
橫向分辨率 | ≤0.5 μm |
掃描速度 | ≤1 s/測(cè)量區(qū)域(視模式) |
最大樣品高度 | 100 mm |
適用環(huán)境 | 實(shí)驗(yàn)室/潔凈室 |
S Lynx Standard:基礎(chǔ)款,適用于常規(guī)表面測(cè)量。
S Lynx Pro:增強(qiáng)版,支持更大樣品尺寸與更高掃描速度。
S Lynx Nano:超高分辨率版,專用于納米級(jí)表面分析。
半導(dǎo)體行業(yè):晶圓、光刻膠表面檢測(cè)。
精密制造:刀具、模具、光學(xué)元件測(cè)量。
生物醫(yī)學(xué):植入物、生物材料表面分析。
科研機(jī)構(gòu):材料科學(xué)、摩擦學(xué)、微納加工研究。
Sensofar S Lynx 憑借高精度、多模式測(cè)量和穩(wěn)定性能,成為工業(yè)檢測(cè)與科研分析的理想工具。如需了解更多信息,歡迎聯(lián)系我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)獲取詳細(xì)方案。Sensofar S Lynx3D表面形貌測(cè)量新選擇
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