ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產(chǎn)品是基于光學(xué)干涉原理的高精度表面測量儀器，適用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件、精密機(jī)械零件等表面的納米級形貌測量需求。該系列產(chǎn)品采用非接觸式測量方式，可為用戶提供三維表面形貌數(shù)據(jù)。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案

技術(shù)特點

測量性能表現(xiàn)

• 采用激光共聚焦技術(shù)，實現(xiàn)亞納米級垂直分辨率

• 多種物鏡可選，適應(yīng)不同放大倍率需求

• 測量范圍覆蓋從亞納米到數(shù)毫米的高度差

• 支持多種表面反射率樣品的測量

系統(tǒng)功能配置

• 自動化測量流程，減少人為操作影響

• 可選配振動隔離系統(tǒng)，提升測量穩(wěn)定性

• 支持多角度測量功能（部分型號）

• 兼容多種規(guī)格的樣品夾具和載物臺

數(shù)據(jù)分析軟件

• 專業(yè)分析軟件提供多種表面參數(shù)計算

• 支持三維形貌可視化與多角度觀察

• 數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式兼容主流分析軟件

• 可生成標(biāo)準(zhǔn)化檢測報告

典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 光學(xué)鏡片面形精度檢測

2. 半導(dǎo)體晶圓表面質(zhì)量評估

3. 精密機(jī)械零件形位公差測量

4. 功能性薄膜表面特性分析

5. MEMS器件三維形貌表征

使用注意事項

• 建議在溫控實驗室環(huán)境中使用

• 測量前需進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)

• 特殊樣品可能需要專用夾具

• 高反射率樣品需調(diào)整測量參數(shù)

服務(wù)支持體系

ZYGO公司提供以下專業(yè)服務(wù)：

• 安裝調(diào)試與操作培訓(xùn)

• 定期校準(zhǔn)與性能驗證

• 應(yīng)用技術(shù)支持

• 軟件升級維護(hù)

總結(jié)

ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產(chǎn)品憑借其測量精度和可靠性，為精密制造領(lǐng)域的表面質(zhì)量控制提供了有效的測量手段。該產(chǎn)品適用于需要高精度表面形貌分析的研發(fā)和質(zhì)量控制場景。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案